• <tr id='6TDwr3'><strong id='6TDwr3'></strong><small id='6TDwr3'></small><button id='6TDwr3'></button><li id='6TDwr3'><noscript id='6TDwr3'><big id='6TDwr3'></big><dt id='6TDwr3'></dt></noscript></li></tr><ol id='6TDwr3'><option id='6TDwr3'><table id='6TDwr3'><blockquote id='6TDwr3'><tbody id='6TDwr3'></tbody></blockquote></table></option></ol><u id='6TDwr3'></u><kbd id='6TDwr3'><kbd id='6TDwr3'></kbd></kbd>

    <code id='6TDwr3'><strong id='6TDwr3'></strong></code>

    <fieldset id='6TDwr3'></fieldset>
          <span id='6TDwr3'></span>

              <ins id='6TDwr3'></ins>
              <acronym id='6TDwr3'><em id='6TDwr3'></em><td id='6TDwr3'><div id='6TDwr3'></div></td></acronym><address id='6TDwr3'><big id='6TDwr3'><big id='6TDwr3'></big><legend id='6TDwr3'></legend></big></address>

              <i id='6TDwr3'><div id='6TDwr3'><ins id='6TDwr3'></ins></div></i>
              <i id='6TDwr3'></i>
            1. <dl id='6TDwr3'></dl>
              1. <blockquote id='6TDwr3'><q id='6TDwr3'><noscript id='6TDwr3'></noscript><dt id='6TDwr3'></dt></q></blockquote><noframes id='6TDwr3'><i id='6TDwr3'></i>
                推荐主题
                查看: 4696|回复: 0

                径流分子他泵在多弧离子镀膜设备的最新应用

                [复制链接] qrcode

                36

                主题

                36

                帖子

                160

                积分

                注册会员

                Rank: 2

                积分
                160
                径流分子泵在多弧离子镀膜设备的最新应用
                张永胜,储继国
                1. 亚智系统一瞬之间科技(苏州)有限公司,江苏苏州215011;
                2.深圳大学,深圳518060
                THE NEW APPLICATIONG OF RADIAL MOLECULAR PUMPS(RMP)ON ARC ION PLATING COATERS
                ZHANG Yong-sheng,CHU Ji-guo
                1. Manz Coating GmbH,Suzhou Jiangsu 215011,China;
                2. Shenzhen University,Shenzhen 518060,China

                摘要 通过对新开发问世的⌒径流分子泵进行介绍,其独特抽气如今龙族之中特性,为多弧离子镀的工艺∑ 优化提供了理论依据。传统多弧离子镀的抽气工艺和镀膜工艺,是在扩散泵和涡轮分子泵抽气能霸王之道力的制约下总结出来的。径流泵机组的问世,为多弧离子镀膜提供了更加宽广的镀膜工艺选择空间。这样就有必要对抽气工艺和镀膜工艺进行重组和优化,进一¤步提升多弧离子镀膜设备的性能和经济效益。

                关键词 : 多弧离子镀,  径流分子泵,  镀膜工艺,  抽气特性   

                Abstract:This paper introduces the newly developed radial molecular pump(RMP). The theory of process optimization isbased on the special pump curve. The pump process and the coating process were developed according to restricted diffusion pumps and the TMPs. After the RMP is developed,it can extend the process windows for arc ion plating coating.It is necessary to optimize the pump process and the coating process to make the coater performance better.

                Key words: arc ion plating           Radial Molecular Pumps(RMP)           coating process           pump speed

                作者简介: 张永胜(1983-),男,江苏省洪泽生命气息人,硕士,从事真空镀膜、径流分子实力泵研究工作。

                引用本文: 张永胜,储继国. 径流分子泵在多弧离子镀膜设备的最新应用[J]. 真空与低温, 2016, 22(2): 111-113.       
                ZHANG Yong-sheng,CHU Ji-guo. THE NEW APPLICATIONG OF RADIAL MOLECULAR PUMPS(RMP)ON ARC ION PLATING COATERS. journal1, 2016, 22(2): 111-113.

                文章来源:《真空与低温》杂志2016年22卷2期

                刊出日期:2016-04-30

                链接地址:


                回复

                使用道具 举报

                您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册

                本版积分规则

                快速回复 返回顶部 返回列表